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- 产品名称: 四氟化碳 其他名称: *、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride 分子式: CF4 UN No. UN1956 No. 75-73-0 产品纯度:99.99~99.999% 包装说明: 47L DOT钢瓶，钢瓶尺寸23 × 130cm，316L SS材质阀门，阀门型号CGA660；40L高压无缝钢瓶，净重30kg/瓶，瓶头阀是铜质阀门是QF-2，出口螺纹是G5/8 产品说明: 四氟化碳是不燃烧的无色、无味的压缩气体，充装于四氟化碳钢瓶中，饱和蒸汽压约压力2000 psig。
四氟化碳是目前微电子工业中用量*的等离子蚀刻气体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制*火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
由于四氟化碳的化学稳定性，四氟化碳可用于金属冶炼，例如：铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等；还可用于塑料行业；如：合成橡胶、氯丁橡胶、聚*甲酸*。
注意事项: 四氟化碳是不燃性压缩气体。
储存于阴凉、通风仓间内。
仓内温度不宜超过60℃。
远离火种、热源。
防止阳光直射。
应与易燃或可燃物分开存放。
验收时要注意品名，注意验瓶日期，*仓的先发用。
搬运四氟化碳时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。
泄漏时，应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。
建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。
尽可能切断泄漏源。
合理通风，加速扩散。
如有可能，即时使用。
漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
四氟化碳的物理化学性质 分子量：88.005 熔点(101.325kPa)： -186.8℃ 沸点(101.325kPa)： -128.0℃ 液体密度(-127.94℃，101.325kPa)：1603kg/m3 气体密度(0℃，101.325kPa)： 3.946 kg/m3 相对密度(气体，0℃，101.325kPa)： 3.05 气液容积比(15℃，100kPa)：436 L/L 比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m3/kg 临界温度： -45.6℃ 临界压力： 3739kPa 临界密度： 629kg/m3 压缩系数： 温度℃ 压缩系数 100kPa 1000kPa 5000kPa 10000kPa 1 5 0.9981 0.9763 0.7832 0.6058 50 0.9988 0.9866 0.8717 0.7637 熔化热(-186.8℃)： 7.609 kJ/kg 气化热(-127.94℃，101.325kPa)： 135.65 kJ/kg 比热容(气体，25℃，101.325kPa)：Cp=696 J/(kg·K) Cv=602J/(kg·K) 比热比(气体，25℃，101.325kPa)：Cp/Cv=1.157 蒸气压(-180.65 C)：0.20 kPa (-120℃)： 165 kPa (-50℃)： 3220 kPa 粘度(101.325kPa，0℃，气体)：0.0161 mPa·S (-60.0℃，液体)：0.170 mPa·S 表面张力(-80.0℃)： 6.4 mN/m 导热系数(101.325kPa，0℃)：0.01503 w/(m·K) (液体，-60.0℃)：0.07196 w/(m·K) 折射率(-73℃)： 1.151 四氟化碳在常温常压下为无色无臭有轻微醚味的气体。
空气中不燃烧，是比较稳定的无毒物质。
但是在高温时，或与可燃气体一同燃烧时，分解出有毒的氟化物。
在1000℃以上能与*形成*。
微溶于水，在25℃，101.325kPa时，水中溶解度为0.0015%(重量)。
有轻微的水解作用。
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